公司多年來始終以客戶需求為導(dǎo)向,在各領(lǐng)域中,設(shè)計(jì)承建了各種不同類型的空氣凈化工程、空氣凈化廠房、潔凈室工程、無菌室工程?!?/strong>
空氣凈化工程主要包括以下幾方面:
1.10萬-10級(jí)無塵室空氣凈化工程設(shè)計(jì)、安裝
2.中央空調(diào)設(shè)計(jì)、安裝
3.恒溫恒濕及自控工程
4.設(shè)備、動(dòng)力、照明配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)、安裝
5.壓縮空氣、超純氣體、純水等工藝管道的設(shè)計(jì)、安裝
6.環(huán)氧樹脂、防靜電PVC、鑄鋁、全鋼地板工程

空氣凈化工程是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
所謂的空氣凈化廠房是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路技術(shù)的快速成長,也增加了對(duì)制造環(huán)境潔靜度的需求,在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。
由于奈米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以東莞無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
凈化廠房亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為(無塵室/無塵車間)。

空氣凈化廠房工程建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。
裝配式凈化廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級(jí)空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng);動(dòng)力及照明系統(tǒng);
工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測(cè)報(bào)警消防和通訊系統(tǒng);人流和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個(gè)設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
凈化廠房最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化廠房。
按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。
當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
凈化廠房的構(gòu)成:
凈化廠房的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的凈化廠房:
(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
(3)隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門。
(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。
電子凈化廠房?jī)艋瘡S房之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕;
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性??;
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;

附空氣凈化廠房潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
單向流(1—100級(jí))凈化廠房
1—100級(jí)的凈化廠房,均采用單向流的氣流組織送風(fēng)方式,即凈化廠房?jī)?nèi)的氣流在同一截面的任一點(diǎn),氣流的方向和速度均保持一致,這樣可以使凈化廠房氣象“活塞”一樣,將室內(nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走。
要實(shí)現(xiàn)“活塞”的效果,高效過濾器需要滿布屋頂才可以實(shí)現(xiàn)單向流的氣流組織方向。
非單向流(1000—10萬級(jí))凈化廠房
1000—10萬級(jí)凈化廠房的氣流組織方向和100級(jí)以上的凈化廠房不同,室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),伴有回流或渦流,它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)凈化。
不同的凈化等級(jí),主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來表現(xiàn)的。
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(USA Federal Standard)209E(1992年)
| 潔凈度級(jí)別 | 粒徑(um) | ||||
| 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 | |
| 1 | 35.0 | 7.50 | 3.00 | 1.00 | NA |
| 10 | 350 | 75.0 | 30.0 | 10.0 | NA |
| 100 | NA | 750 | 300 | 100 | NA |
| 1000 | NA | NA | NA | 1000 | 7.0 |
| 10000 | NA | NA | NA | 10000 | 70.3 |
| 100000 | NA | NA | NA | 100000 | 700 |
單位:塵埃數(shù)量個(gè)/ft3
中國藥品生產(chǎn)凈化廠房(區(qū))的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
| 潔凈度級(jí)別 | 塵埃最允許數(shù)/平方米 | 微生物最大允許數(shù) | ||
| ≥0.5um | ≥5um | 浮游菌個(gè)/立方米 | 沉降菌個(gè)/皿.30min | |
| 100 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
| 10000 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100000 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300000 | 10,500,000 | 61,800 | NA | 15 |
國家藥品監(jiān)督管理局1999年8月1日發(fā)布實(shí)施
基于≥0.5um粒徑的各國潔凈度等級(jí)近似對(duì)照表
| 個(gè)/M3≥0.5um | ISO 14644-1(1999) |
US 209E(1992) |
US 209D(1988) |
EEC GGMP(1989) |
FRANCE AFNOR(1981) |
GERMANY VDI2083(1990) |
JAPAN JAOA(1989) |
| 1 | – | – | – | – | – | – | – |
| 3.5 | 2 | – | – | – | – | 0 | 2 |
| 10.0 | – | M1 | – | – | – | – | – |
| 35.3 | 3 | M1.5 | 1 | – | – | 1 | 3 |
| 100 | – | M2 | – | – | – | – | – |
| 353 | 4 | M2.5 | 10 | – | – | 2 | 4 |
| 1,000 | – | M3 | – | – | – | – | – |
| 3,530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4,000 | 3 | 5 |
| 10,000 | – | M4 | – | – | – | – | – |
| 35,300 | 6 | M4.5 | 1,000 | 1,000 | – | 4 | 6 |
| 100,000 | – | M5 | – | – | – | – | – |
| 353,000 | 7 | M5.5 | 10,000 | C | 400,000 | 5 | 7 |
| 1,000,000 | – | M6 | – | – | – | – | – |
| 3,530,000 | 8 | M6.5 | 100,000 | D | 4,000,000 | 6 | 8 |
| 10,000,000 | – | M7 | – | – | – | – | – |
凈化廠房及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
| 空氣潔凈度等級(jí)(N) | 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3) | |||||
| 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
| 1 | 10 | 2 | ||||
| 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
空氣凈化工程|凈化廠房工程鏈接:http://www.joltsites.com/cleanroom/
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